半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体芯片高测封匹配涉重废污水——MVR二次重复零排工程
该项目大环境
半导体设备技术中高档测封业务,产值150每立方米/天,是第一家半导体设备技术测封整套搭配涉重污废污水 零排业务。测封部门的镀镍、镀铜、引线框架结构进行维护清洁会产生了含镍含铜污废污水 ,产业园符合要求"无尾水外排",产水大部分造纸废水处理于产线。
水的硬度特点与薄弱点
废渣以含镍作为主(酸度10–100毫克/升),伴一些铜、锌,pH变化大(2–12),另外 光刻胶农药残留的一些无机物。测封厂田径场紧,让清理措施征占小;零排暗示着着浓水未能土石方不要,必定原生多效蒸发凝结开环。
除理工学艺路线图
局部走"分质回收 → 预办理除杂 → 化学反应沉淀自己除镍 → 过滤装置 → UF+有级RO → MVR强行再循环汽化 → 气液分离器水造纸废水处理":
含镍线先调pH到10–11,添加氢腐蚀钠导出Ni(OH)₂沉积,再加上混炼钠纵深收集残存镍(混炼镍Ksp比氢腐蚀镍更小,可以镍压到0.1毫克/升下类);
放置有水出经多物料吸附+安保吸附后进UF,再进七级RO,产水一直回产线洁净;
RO浓水(含盐+的残留物血本属)进MVR禁止反复的减压蒸馏掉器,禁止反复的能扛高含盐积垢,减压蒸馏掉器內置手机在线的洗涤,不容易堵;
MVR空气冷却水回中水回用鱼池,蒸发器残液委外填埋或充当危废处理预防,一个车间无固体外排。
核心设配优势之处说
MVR强行间歇不同于寻常降膜汽化,间歇水流量高、热传导面难以结镍盐/碳酸盐垢,合适首测这类"出水量不算太大但污水水质杂"的消费场景;一体式化撬装设汁占地面积比传统型汽化塘+多效汽化细则小60%这;臭味侧搭配菌物滤池,把调控池和生活污水间的臭味汇集后可降解成CO₂和水,减少首测厂紧靠工作区的特殊难闻气味客户投诉。
加工的效果与效用
冒水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,具有《真空镀膜感染物的环境保护排放物标准》表三;全部都150立方米/天产水中水回用于首测产线洁净,用于等量清爽水;危险废物(蒸发器残液+工业废水)量比传统文化"放置+的排放物"形式 减约70%。对富士康侧,首测新项目环境保护审批卡点打架通;