某半导体设备存储芯片打造厂在晶圆加工加工处理的过程 中,食用硅烷完成硅本质生长的,烟气洗滌塔行成高溶度含硅电镀生活污水。电镀生活污水具备有pH跌涨大(2-11)、硅分量高的基本特征,传统化加工处理方案易有硅垢堵塞了问题。
电镀废水材质及来历
生活污水最主要的材质为:
充分均匀溶解性硅酸盐
:SiO₂质量浓度达1000-1500mg/L
硝酸钠/氢脱色钠
:洗衣塔酸碱性洗衣液剩余的
科粒硅
:nm级SiO₂悬浊液
痕量砷
:物料钙镁离子带到
净化处理的工艺步骤
什么是创新使用"有级结合+膜活性炭过滤+挥发心得"工艺技术:
二级采和
:用CaO调结pH至4-5,形成硅酸钙滤渣,硅的还原率60%。
二次与
:加Na₂CO₃将pH升高至9,进第一步放置余下硅,并接用镁剂除砷。
超滤膜整体
:0.02μm淘瓷膜过滤清洁nm级硅颗粒状,通量稳定性高在80LMH。
MVR蒸发掉器
:浓缩咖啡高盐电镀废水,结晶体出Na₂SO₄副护肤品,水造纸废水处理率超90%。
结果英文效率
总硅从1500mg/L下降5mg/L以下的
砷含氧量从0.8mg/L降下来0.01mg/L
系统性无结渣自动运行突破2年
每月收集浓盐酸钠晶状体约800吨