该晶圆制造技术厂最靠近豫东各地,通常生产制造加工8屏幕尺寸半导体器件晶圆,日访问量废水处理工艺总量上涨量约800吨。致使生产制造加工流程中运行许多氢佛酸使用晶圆蚀刻,出现废水处理工艺中氟化物有机废气浓度达到200-300mg/L,远超祖国总量上涨原则(10mg/L一下)。
电镀废水含量及的来源
焦化废水首要源于6个基本原则:
晶圆蚀刻生产工艺
:含高浓硫酸浓度氟化物(HF)、硝酸铵及一定量血本属
化学工业机械制造抛光处理(CMP)废水处理
:含納米级硅颗料、有机酸络合剂
系统清洁工作化工废水
:含异丙醇、挥发酚等可挥发物
除理流程图流程图
用于"电学石雕文化乳浊液+混凝土石雕文化乳浊液+厚度过虑"三级视频处置体统:
七级处置
:添加氯化钙和氢氧化反应钙,建立氟化钙石雕文化沉淀,氟化物剔除率达85%
下级处置
:生成PAC(聚合物氯化铝)和PAM(pp聚丙烯酰胺),剔除橡胶胶体部分态感染物
三阶段解决
:使用多媒质筛选器和抗逆性炭过滤,冒水氟化物渗透压固定在8mg/L以內
重要的设施属于:pH主动调接机系统、斜管积累池、板框设备(活性污泥脱水情况)。
以后功效
大型项目作业六年评估数据统计表示:
氟化物均溶度:7.2mg/L(不低于地区原则)
COD清理率:92%
活性污泥含水量率:≤65%
年回收分类处理氟化钙副厂品约150吨,实现了网络无害化借助