建设项目情况
某大规模光电器件打造公司品牌是在长角形地,具体产出晶圆和电子器件。在产出环节中,晶圆割孔和cnc精密机械加工的阶段带来非常多考虑液废渣,单日摆放物量约50吨。是由于废渣中所含高有机会废气浓度悬浮按钮物、材料阴阳离子及有机会插入剂,直接性摆放物会对自然环境带来较为严重的环境破坏,公司品牌需要搭建专业化清理装置。
焦化废水含量及来源地
机磨液废污水常见源头于晶圆加工制作中的无机化学自动化设备抛光剂(CMP)工步,常见被挥发性有机物比如:
漂浮科粒物
:二空气被氧化硅、空气被氧化铁等碾磨颗料,比表面积在0.1-1μm,密度高达模型2000mg/L。
金属材质阳离子
:铜、铁、锌等,是来自于拋光垫磨坏及晶圆漆层黑色金属层,铜铁离子酸度约50mg/L。
有机化学生成剂
:涉及界面可溶性剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
腐蚀性性杂质
:pH值起伏大,一般说来在2-11之中。
治理 制作工艺程序
造成废气特点,采取“预办理+血生化+深度1办理”乐队组合新工艺:
调结池
:均等化水环境用水量,填加酸碱性调pH至弱酸性。
水泥混凝土沉淀物
:加药系统PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚丙酰胺),清掉悬停物和橡胶胶体部分,沉降后SS清掉率>90%。
崔化氧化的
:使用Fenton免疫试剂(H₂O₂+Fe²⁺)可降解有机物修改剂,COD避开率达60%。
菌物正确处理
:MBR膜生物学反馈器进几步光降解乘余有机会物,COD降低100mg/L下述。
阳离子交易
:专用的聚酯树脂粘附铜阴阳离子,出液铜含磷量<0.5mg/L。
砂滤+抗逆性炭过滤水
:保障溢水清冽,达到了《污水渗漏综上排放出标准规定》(GB8978-1996)五级标准规定。
以后郊果
操作系统运作安稳后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜化合物<0.3mg/L。
循环率达40%,余量考核标准排卸,年下降电镀废水排卸1.7万吨。
办理人工成本约15元/吨,远最低的行业人均。